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濺射靶材表面氧化物和雜質如何進行處理

濺射成膜的生產工藝中,由于靶材表面潔凈度不高,通常會在靶材濺射表面累積一些從幾微米到幾毫米大小的黑色氧化物,這些異物被認為是IN或SI的不完全氧化物,一般稱之為結瘤。結瘤具有絕緣性,結瘤量增加,多引發濺射過程中的異常放電,使ITO膜出現粒狀物,影響成膜質量。隨靶材表面結瘤異常的增加,需要中止濺射操作,對濺射靶材表面的結瘤進行清潔再生產處理,但由于清潔不夠切底,濺射靶材潔凈度不高,在濺射生產過程中又會很快出現結瘤,這樣造成生產作業不連續,導致生產效率下降。即使去除了結瘤,反復進行再生處理也很難恢復到新靶材的狀態,這樣造成一種結果,就是靶材在用盡以前會因為結瘤的增加導致靶材廢棄。正因如此,需要改進濺射靶材的清潔方法,提高靶材的潔凈度。

濺射靶材

目前對濺射靶材的表面進行處理時,主要利用砂紙對靶材表面進行打磨,再使用氣槍吹除粉塵顆粒和碎肩,或采用無殘留膠帶粘除。使用氣槍吹除很容易造成無塵車間的污染,而采用無殘留膠帶的方式不僅增加了制造成本,而且不能將所有雜質都粘除,難以提高濺射靶材的潔凈度,例如大的顆粒或在縫隙里的粉塵都是無殘留膠帶難以粘除干凈的。


針對現有濺射靶靶材去除雜質技術存在之缺失,研發使用ITO薄膜濺射靶材的清潔方法,這種方法能有效減少濺射靶材表面的氧化物和雜質,提高靶材表面潔凈度,進而提高靶材的利用率。

濺射靶材

一般濺射靶材通過采用砂紙對靶材表面進行打磨,并且順應靶材的跑道方向,可有效去除靶材表面的氧化物和雜質,同時可以避免一些灰塵落于縫隙中。在打磨后采用吸塵器對靶材表面的顆粒物或粉塵進行清潔,不僅可以清除較大的顆粒物和粉塵,也可以清除落入到縫隙中的粉塵,提高了靶材表面的潔凈度,同時采用吸塵的方式也可以避免粉塵污染無塵車間的情況。

濺射靶材

最后采用無塵布蘸取少量酒精對靶材的表面進行擦拭,進一步提高靶材的潔凈度。由此,清除了濺射靶材表面氧化物、雜質和粉塵,進而可減少ITO薄膜生產中靶材表面結瘤,降低異常放電次數,也減少了對靶材的清潔次數,提高了生產效率,也提高了靶材的利用率,降低了生產成本。同時,氧化物和雜質的減少,也降低了對ITO薄膜表面阻值、霧度、透過率影響,提高了產品質量。


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